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辛格林纳Ω6伺服半导体设备之乘风破浪【新时达运控】
返回列表 来源: 发布日期: 2021.09.08

01该现场/行业介绍

固晶作为半导体行业、电子行业中封装中的重要设备,主要用于各种金丝超声波焊接设备的引线柜架压板,以及各种芯片贴装设备。设备一般采用电脑控制,配有CCD图像传感系统,先由CCD系统扫描,确定正确的路径,然后输入设置好的程序,即可完成整个工作流程,由摆臂轴配合其他机械结构完成晶片的搬运动作。

02设备主要结构介绍

1固晶机设备结构


固晶机中要求高的主要是摆臂轴,摆臂可以通过伺服驱动可以在水平方向上旋转(摆臂θ轴750W),在垂直方向(摆臂Z轴200W)上移动,主要用于取晶、固晶,摆臂θ轴运动到吸取晶片的位置,摆臂Z轴向下运动的同时由顶针向上运动顶起晶片,通过吸嘴吸附后摆臂Z轴回到原点,摆臂θ轴开始摆动,在经过检测位置(漏晶检测)后,摆臂θ轴和摆臂Z轴配合动作完成晶片的键合。


03伺服驱动器介绍

Ω6s-APR驱动采用源自德国公司(辛格林纳)的研发技术,针对国内客户的使用习惯所开发的一款高性能的脉冲型伺服驱动。其电流环刷新频率达到1MHz,瞬时过载能力达到3.5倍,是设备高速响应的基石。最大支持16MHz的脉冲输入指令、3路16位的模拟量输入提高整体的响应精度。

自带的自整定算法能够轻松应对不同的现场应用,即插即用,做到真正的智慧驱动,让客户忘记驱动的存在。独立的散热风道+温控风扇+加厚的UV涂层,能够适应不同的应用环境,保证系统在不同环境下都能高效稳定的运行。


04应用方案介绍(重点:产品配置)


2固晶机方案配置

伺服系统


摆臂θ轴一般采用直连结构,摆臂Z轴一般采用凸轮结构,两个轴对响应的要求都非常高,并且不允许出现位置超调的情况。


05方案总结(重点:产品价值)

固晶机实际加工中的要求主要有以下三点:

①实际加工中吸嘴部取晶固晶无震动

②固晶周期短、稳定性好

③量产设备的参数通用性好

针对以上3点,Ω6伺服驱动器都有专门的针对性功能用于解决以上问题。对于震动问题,Ω6伺服驱动器自带的自适应陷波功能,可以自动推定运动过程中的共振频率,有效抑制共振,避免因为共振问题导致增益无法进一步提高。


3自适陷波图

自适应陷波打开前后的运动情况


4自整定


针对固晶要求的周期短,稳定性好的问题,Ω6伺服驱动器特有的定位优先模式下的自整定方式能够根据实际定位需求进行快速自整定(固晶机定位要求<1个指令单位)


5自整定波形

自整定完成后的波形


6整定后摆臂

整定后摆臂θ轴到位时间22ms


摆臂θ轴一个指令单位的偏差大小为41.9INC(23位编码器),通过自整定得到的定位时间为22ms,超调不超过1个指令单位。


7征订后摆臂到z轴

整定后摆臂Z轴到位时间5ms


摆臂Z轴一个指令单位的偏差大小为758INC(23位编码器),通过自整定得到的定位时间为5ms,超调不超过1个指令单位。




综上所述,通过Ω6伺服驱动器的自整定功能能够有效的满足固晶机现场的实际应用情况,能够最大限度的减少客户的调试时间,真正的为客户创造价值。


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